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??扑紲y量硅片厚度:高精度打破技術上限

文章出處:網責任編輯:作者:人氣:-發表時間:2019-10-15 17:39:00

 半導體芯片在以往并不會引起太多企業或者個人關注,但是今年因為各種限制導致企業嗅到了一絲危險的氣味,紛紛加入研發半導體芯片的行列當中,再加上國家的大力扶持,芯片熱潮相信還會一直持續下去。為什么企業會這么主動?因為半導體芯片是現代社會的核心“零件”之一,超級計算機離不開它,手機更不用說,它也下得了廚房,電飯煲、冰箱里也有它,可以說脫離了芯片就等于與科技說再見,所以企業不再對它熟視無睹了。

 

硅片制備要經過襯底制備和外延工藝兩大環節,其中的工藝標準都有所不同,在這里不進行闡述。在經過表面拋光后就需要進行質量檢測(厚度、晶向、平整度、平行度和損傷層),硅片厚度測量需要使用非接觸厚度測量儀進行測量,因為硅片經過切片之后厚度精度達到了μm級而且精度要求非常之高,加上不能接觸硅片進行拋光工序之后的表面,不然硅片表面被劃傷質量等級就會下降。激光測厚儀采用的光路與激光聯合技術,二套光路可實現自動切換,輕松實現高速測量,還有大優點就是精度高,加上非接觸測量對硅片不會有損傷,??扑己穸燃す鉁y量儀成為了測量硅片厚度的更好選擇。

 

由于設備較多,未能詳盡介紹,如未發現合適設備者請致電??扑?/span>020-39980795,我們技術將為您發送相關設備資料。

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