玻璃晶圓測量厚度，透明材質和反光材質通用方法

文章出處：網責任編輯：作者：人氣：-發表時間：2023-11-22 22:44:00

玻璃晶圓具有光傳輸效率高的特點而被廣泛應用于半導體、光學等行業的生產制造過程中。具體應用方向包括微電機元件、CMOS、CCD傳感器、微波電路、物聯網陣列以及各類光學、激光器件的加工制造，目前玻璃晶圓在眾多高新技術領域中應用廣泛，國內外的需求量也快速增長。玻璃晶圓相較于我們常見的建筑玻璃厚度更薄、光潔度更高，各項外形數據的標準更加苛刻，制作玻璃晶圓的生產技術當然也更高，每一片玻璃晶圓的價值都遠遠大于同尺寸的其他行業玻璃，所以玻璃晶圓的外形公差就代表了制作商的生產工藝。玻璃晶圓由于其制作工序中需要用到高溫制作然后進行冷卻，所以晶圓玻璃的厚度標準不比其他外形尺寸標準低，使用激光厚度測量儀進行玻璃晶圓的厚度測量成為了理想手段。

傳統的玻璃制品測量厚度的時候已十分棘手，因為玻璃工件都需要保持其光潔度，接觸式測量方式稍有不慎就會劃傷玻璃工件，面對玻璃晶圓更加苛刻的光潔度要求，海科思雙激光厚度測量儀可以說是得心應手，因為該款設備使用高精度激光測頭對玻璃晶圓進行厚度測量的整個過程都不會接觸到其表面，可以很好的規避了測量工序所帶來的風險。激光測厚儀的測量精度是一般的測量工具無法企及的高度，日漸壯大的芯片企業必定對晶圓類基材標準愈加苛刻，只需要使用該設備就滿足了往后不斷變化的晶圓行業，可謂是一舉多得。