液晶玻璃基板平行度及翹曲度的測量

   液晶玻璃基板是液晶平板顯示器的重要組成部分，具有十分廣闊的發展前景。目前液晶玻璃基板高端領域的國產化進行得如火如荼。

   TFT-LCD用玻璃基板與傳統的平板玻璃有本質的區別，對產品質量有非常嚴格的要求，是資本、技術密集型產業。

   高性能顯示器制造工藝包括多次精密光刻，要求基板外形尺寸加工精度達到0.1 mm誤差。液晶顯示對基板玻璃平整度的要求甚高。基板玻璃的平整度直接影響所顯示圖形的質量。

   基板玻璃平整度測量的參數包括：1.玻璃表面粗糙度；2.玻璃表面波紋度；3.玻璃表面翹曲度；4.玻璃表面平行度。

1.玻璃表面粗糙度：玻璃表面粗糙度是反映表面形態的一個重要參數。粗糙度將影響在基板玻璃上進行涂膜和光刻的質量，引起分子排列畸變，從而影響液晶顯示的質量。

2.玻璃表面波紋度：表面波紋度是反映玻璃表面平整度的重要參數之一。較大的波紋度會造成光刻時底片與基板玻璃不能貼緊，形成虛光，使光刻分辨率下降，邊緣不齊；在封裝、灌注液晶后，會使液晶層厚度波動，引起顯示不均勻，甚至出現彩色干涉條紋，影響圖像質量。

3.液晶玻璃基板表面翹曲度的測量：由于基板玻璃與底片吸附不緊，使光刻圖形邊緣不齊，分辨率下降。過大的翹曲度不利于大面積封裝。

4.液晶玻璃基板平行度、垂直度、直線度測量：液晶基板玻璃平行度的測量、垂直度測量、直線度的測量是衡量玻璃厚度均勻性的重要參數。基板玻璃厚度不均勻會造成制造液晶顯示器的過程中加壓不均勻，造成次品和廢品。

    為了避免不良情況的發生，使用海科思液晶玻璃基板測量儀對以上參數進行測量監控是非常重要的。

    海科思大行程測量儀系列機器能滿足以上測量需求。專利的三角橫梁技術，保證機器佳的剛性質量比，精度更穩定；德國HEIDENHAIN工業級四軸CNC控制系統，全伺服閉環控制，全自動測量功能；空間面補償，保證機器的高精度；專利的預載荷空氣軸承，全氣浮導軌技術的應用，同時采用研磨級絲杠傳動，高速、無間隙、靈敏可靠、定位準確、運動精度高。