玻璃晶圓因?yàn)槠鋼碛袃?yōu)越的透光性、極低的熒光強(qiáng)度，極低的膨脹系數(shù)、抗熱沖擊性強(qiáng)，極佳的化學(xué)穩(wěn)定性，極佳的抗刮花效果，極低的含堿量，使得其應(yīng)用于各類高新行業(yè)。玻璃晶圓由于其材質(zhì)特性擁有極高的硬度，也代表玻璃晶圓的脆性非常大，使得測量玻璃晶圓的外形尺寸十分困難，因?yàn)樯杂胁簧骶蜁?dǎo)致其表面留下劃痕等瑕疵，無法進(jìn)行后續(xù)的工序。玻璃晶圓有一項(xiàng)十分重要的外形尺寸，該項(xiàng)尺寸的測量精度同樣影響后續(xù)加工，這就是厚度均勻性，一般的厚度測量工具都需要對玻璃晶圓的表面施加應(yīng)力來獲得數(shù)據(jù)，該類傳統(tǒng)的接觸式測量工具不單單會容易對晶圓表面留下瑕疵，測量的精度還無法滿足晶圓產(chǎn)業(yè)的檢測需求，所以上下激光厚度測量儀才是測量玻璃晶圓厚度數(shù)據(jù)的理想選擇。

雙激光厚度測量儀無需接觸到玻璃晶圓表面更不會對其表面施加壓力來測量，僅需要將晶圓放置在測量臺就能實(shí)時(shí)的獲得高精度厚度數(shù)據(jù)，還不會劃傷晶圓表面，是一個(gè)省時(shí)省力的高精度測量設(shè)備。激光測厚儀操作簡單無需培訓(xùn)既能輕松操作，無論是抽檢還是全檢都能高效率的完成，設(shè)備體積小、質(zhì)量輕、方便攜帶，可連接電腦測量數(shù)據(jù)可輸出到表格方便后續(xù)查閱，是晶圓生產(chǎn)企業(yè)不可多得的得力測量助手。

海科思可根據(jù)實(shí)際測量產(chǎn)品進(jìn)行配置以及尺寸的定制，如有工件的外形尺寸測量需求歡迎致電海科思全國服務(wù)熱線：400-0528-668